vie
Thiết bị bán dẫn điện tử côngnghiệp
Thiết bị bán dẫn điện tử côngnghiệp
Thiết bị bán dẫn điện tử côngnghiệp
Tại saongành côngnghiệp bán dẫn điện tử cần xử lýnước?
 
Sản xuất chất bán dẫn điện tử đòi hỏi chất lượngnước rất cao. Sản xuất chất bán dẫn liên quan đến phản ứng hóa học chính xác và các quá trình vật lý, tạp chất, ion, vi điện tử và các sản phẩm khác có thể gây ônhiễm sản phẩm, làm ảnh hưởng đến hiệu suất, độ ổn định và độ tin cậy của sản phẩm. Vì vậy, cần phải sử dụng các thiết bị xử lýnước để loại bỏ tạp chất trongnước để đảm bảo độ tinh khiết củanước sản xuất. Ví dụ, trongngành côngnghiệp bán dẫn điện tử, thiết bịnước siêu tinh vi thông quanhiều loại chính xác cao, xử lý độ chính xác cao, kỹ thuật,như bộ lọc bị căng thẳng, lọcngược và trao đổi ionnhựa,như, hiệu quả để loại bỏ tạp chất Trongnước, các ion và sinh vật, đảm bảo sản xuấtnước cực kỳ mạnh với tốc độ kháng rất cao. Nước cực kỳnày được sử dụng rộng rãi trong việc sản xuất chất tẩy rửa, khắc, màng và trộn các phần quan trọng của quy trình, là một yếu tố quan trọng để đảm bảo hiệu suất và chất lượng của các sản phẩm bán dẫn.
 
 

Giải pháp côngnghiệp bán dẫn điện tử

 
 
Electronic Semiconductor Industrial Solutions
 

1. Hệ thống lọc carbon đa phương tiện\/hoạt hóa:

Trongngành sản xuất

Các bộ lọc đa phương tiện thường được sử dụng trong giai đoạn xử lýnước ban đầu, loại bỏ hiệu quả các chất rắn lơ lửng, chất keo, hạt và các tạp chất khácnhau từnước thông qua sự kết hợp củanhiều môi trường, cung cấpnước sạch để xử lý tiếp theo. Bướcnày là rất quan trọng để bảo vệ thiết bị xử lý tiếp theo và cải thiện hiệu quả xử lý tổng thể.

 

Các bộ lọc carbon hoạt hóa chủ yếu được sử dụng để loại bỏ chất hữu cơ, mùi, sắc tố và các tạp chất khác từnước. Carbon hoạt hóa có khảnăng hấp thụ mạnh, có thể hấp thụ và loại bỏ các chất ônhiễm từnước, do đó cải thiện độ tinh khiết củanước. Bướcnày là rất quan trọng để đảm bảo chất lượng và sự ổn định củanước siêu tinh khiết.

 

Bằng cách kết hợp các bộ lọc đa phương tiện và các bộ lọc carbon được kích hoạt, bạn có thể loại bỏ hiệu quả hầu hết các tạp chất khỏinước để điều trị tiên tiến hơn (như thẩm thấungược, trao đổi ion, v.v.), cung cấp chất lượng cơ bản tốt. Điềunày giúp đảm bảo chất lượng và tính ổn định củanước siêu tinh khiết cần thiết trong quá trình sản xuất củangành côngnghiệp bán dẫn điện tử, để cải thiện hiệu suất và độ tin cậy của sản phẩm.


Nguyên tắc kỹ thuật

Nguyên tắc của côngnghệ lọc đa phương tiện chủ yếu là sử dụng một hoặcnhiều phương tiện lọc để lọc sâu để loại bỏ các tạp chất lỏng trongnước. Khinước thô đi qua vật liệu lọc từ trên xuống dưới, các hạt lớn được loại bỏ ở lớp trên cùng, trong khi các hạtnhỏ được loại bỏ sâu hơn trong môi trường lọc. Điềunày chủ yếu phụ thuộc vào sự hấp thụ và điện trở cơ học của lớp vật liệu lọc, cũngnhư độnén của sự sắp xếp hạt cát, làm cho các hạt trongnước cónhiều khảnăng va chạm với các hạt cát và bị chặn. Sau khi xử lýnày, chất lỏng trênnước có thể được giữ ở mức thấp hơn để đảm bảo độ trong của chất lượngnước.

 

Nguyên tắc kỹ thuật của các bộ lọc carbon được kích hoạt chủ yếu dựa trên sự hấp thụ của carbon được kích hoạt. Carbon hoạt hóa có diện tích bề mặt khổng lồ và cấu trúc lỗ rỗng phức tạp, mang lại chonó khảnăng hấp thụ mạnh mẽ. Khinước đi qua bộ lọc carbon hoạt hóa, chất hữu cơ, mùi, màu và các chất ônhiễm khác trongnước được hấp thụ bởi bề mặt của carbon được kích hoạt và loại bỏ hiệu quả. Ngoài ra, carbon hoạt hóa cũng có thể loại bỏ clo khỏinước để đảm bảo hoạt động bình thường của các thiết bị điều trị tiếp theo.


Những thành tựunào chúng ta có thể đạt được?

Thứnhất, các bộ lọc đa phương tiện được sử dụng làm thiết bị tiền xử lý và thiết kế của chúng cónhiều phương tiện kết hợp cho phép chúng loại bỏ hiệu quả chất kết dính, hạt và tạp chất lớn từnước. Điềunày rất quan trọng để bảo vệ các thiết bị xử lýnước tiếp theo để đảm bảo hoạt động ổn định của toàn bộ hệ thống xử lýnước. Thông qua bướcnày,nước sạch ban đầu có thể được cung cấp chongành côngnghiệp bán dẫn điện tử, làm giảm tác động tiềmnăng của tạp chất đối với quá trình sản xuất.

 

Thứ hai, carbon kích hoạt bộ lọc sử dụng khảnăng hấp thụ mạnh mẽ củanó để loại bỏ các tạp chấtnhư chất hữu cơ, mùi và sắc tố từnước. Nếu các tạp chấtnày không được loại bỏ, chúng có thể có tác dụng phụ đối với chất lượng và hiệu suất của các sản phẩm bán dẫn điện tử. Việc áp dụng lọc carbon được kích hoạt có thể cải thiện đáng kể độ tinh khiết củanước và đáp ứng các yêu cầunghiêmngặt củangành côngnghiệp bán dẫn điện tử chất lượng cao.

 

Ultrafiltration System
 

2. Hệ thống siêu lọc:

Và trong sản xuất

Đầu tiên, trong quá trình làm sạch, màng có thể loại bỏ các hạt và ion khỏinước một cách hiệu quả, đóng vai trò là một quá trình xử lýnước cực kỳ chất lượng cao. Loạinước siêu tinh thểnày được sử dụng để làm sạch các thiết bị và thiết bị bán dẫn, đảm bảo rằng bề mặt của sản phẩm sạch sẽ và tránh tác động của các chất ônhiễm đến hiệu suất và độ tin cậy của sản phẩm.

 

Thứ hai, côngnghệ siêu lọc thường được sử dụng để sản xuất chất lỏng. Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, cần sử dụng các chất lỏng kỹ thuậtnhư axit, kali, dung môi hữu cơ, v.v. .

 

Ngoài ra, côngnghệ lọc siêu âm cũng đóng một vai trò quan trọng trong việc lưu thôngnước làm mát của thiết bị. Thiết bị sản xuất bán dẫn tạo ra một lượng lớnnhiệt trong quá trình hoạt động và cầnnước làm mát để làm mátnhiệt. Màng siêu lọc có thể loại bỏ các hạt và ion khỏinước làm mát,ngănngừa tạp chất khỏi thiết bị gây tổn hại, đảm bảo hoạt động bình thường của thiết bị và đảm bảo sự ổn định của sản phẩm.


Nguyên tắc kỹ thuật

Nguyên tắc kỹ thuật của các bộ lọc siêu âm chủ yếu dựa trên các quá trình tách màng được kiểm soát áp suất. Lõi là sử dụng màng thấm qua đường kính đặc biệt gọi là màng siêu lọc đểngăn chặn trọng lượng keo, hạt và phân tử tương đối cao trongnước, trong khinước và các hạt dung môinhỏ có thể xâmnhập vào màng.

 

Màng siêu lọc có độ giãn dài từ 20 đến 1000a độ, khoảng cách lọc 0,002 tối đến 0,2 pm và có thể ức chế các hạt có đường kính lớn hơn 0,02 tối,như protein, pectin, chất béo và vi khuẩn. Các vật liệu và cấu trúc khácnhau của màng lọc có các hiệu ứng và ứng dụng khácnhau, vì vậy bạn cần chọn màng lọc phù hợp cho cácnhu cầu ứng dụng cụ thể. Đồng thời, các điều kiện làm việcnhư áp suất, tốc độ vànhiệt độ cũng có thể ảnh hưởng đến hiệu ứng siêu lọc và yêu cầu kiểm soát tối ưu hóa.


Chúng ta có thể đạt được loại kết quảnào

Thứnhất, hệ thống lọc siêu âm cung cấpnước tinh khiết. Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn điện tử, cónhu cầu cao về chất lượngnước và bất kỳ tạp chấtnhỏnào cũng có thể ảnh hưởngnghiêm trọng đến chất lượng và hiệu suất của sản phẩm. Hệ thống siêu lọc áp dụng khảnăng lọc hiệu quả cao, có thể loại bỏ hiệu quả các hạt, gel, vi khuẩn và các tạp chất khác trongnước, đảm bảo độ tinh khiết củanước trong quá trình và đáp ứng các yêu cầu chất lượng cao trong quá trình sản xuất chất bán dẫn điện tử.

 

Thứ hai, siêu lọc Hệ thống có thể bảo vệ thiết bị sản xuất. Do thực tế là các hệ thống siêu lọc có thể cung cấpnước tinh khiết cho quá trìnhnày,nó giúp giảm các vấn đề chất lượng do ăn mòn và bụi bẩn trong thiết bị sản xuất, do đó kéo dài tuổi thọ của thiết bị và giảm chi phí bảo trì.
Ngoài ra, các hệ thống lọc cũng có thể giúp cải thiện hiệu quả sản xuất. Bằng cách đảm bảo chất lượng và sự ổn định củanước trong quá trình, các hệ thống siêu lọc có thể làm giảm chất lượng sản phẩm gây ra bởi sự gián đoạn sản xuất và các vấn đề chất lượng, đảm bảo tính liên tục và ổn định của quy trình sản xuất và cải thiện hiệu quả sản xuất.

 

Cuối cùng, các hệ thống lọc cũng góp phần tạo ra môi trường và phát triển bền vững. Bằng cách loại bỏ hiệu quả các chất ônhiễm khỏinước, các hệ thống siêu lọc có thể làm giảm khó khăn và chi phí xử lýnước thải, và giảm thiểu tác động của chúng đối với môi trường. Trong khi đó, việc áp dụng các hệ thống siêu lọc cũng giúp thúc đẩyngành côngnghiệp bán dẫn điện tử hướng tới các phương pháp sản xuất bền vững và thân thiện với môi trường hơn.

 
Reverse osmosis water treatment equipment
 

3. Hệ thống màng thẩm thấungược:

Trongngành sản xuất

Màng thẩm thấungược Trongngành côngnghiệp bán dẫn chủ yếu được sử dụng trong quá trình sản xuấtnước siêu tinh khiết. Trong quá trình sản xuất các chất bán dẫn điện tử,nước siêunhiệt được sử dụng rộng rãi để làm sạch các thành phần quan trọngnhư chip silicon và chip, loại bỏ hiệu quả các hạt bề mặt và chất hữu cơ, và giảm tỷ lệ thiếu sản phẩm. Màng thẩm thấungược có thể cung cấpnước khử ion ổn định và căng thẳng thấp, đáp ứng các yêu cầu chất lượng cao củangành côngnghiệp bán dẫn.

 

Ngoài ra, côngnghệ màng thẩm thấungược cũng có thể cung cấpnước sạch chất lượng cao để đảm bảo độ tin cậy và độ ổn định của các thành phần. Bằng cách sử dụng các đặc điểm của màng thẩm thấungược, bạn có thể kiểm soát chính xác chất lượngnước và đáp ứng các yêu cầunghiêmngặt đối vớinước siêu tinh khiết trong các quy trình sản xuất bán dẫn điện tử.


Nguyên tắc kỹ thuật

Màng thẩm thấungược thường là màng thấm tổng hợp với kích thước rấtnhỏ, có thểngănngừa các tạp chấtnhư muối, chất hữu cơ và các ion kim loạinặng phân hủy trongnước, trong khi cho phép các phân tửnước đi qua. Nếu áp suất lớn hơn áp suất thẩm thấu được áp dụng ở một bên của dung dịch dày, dung môi sẽ chảy theo hướngngược lại với hướng thẩm thấu ban đầu và bắt đầu chảy từ dung dịch dày sang phía dung dịch pha loãng. Quá trìnhnày được gọi là thẩm thấungược. Tại thời điểmnày, dung môi dưới áp suất đi qua màng thẩm thấungược và dung dịch bị chặn bởi màng để đạt được sự phân tách và độ tinh khiết.


Những thành tựunào chúng ta có thể đạt được?

Thứnhất, màng thẩm thấungược có thể loại bỏ các tạp chấtnhư vi khuẩn, chất hữu cơ và kim loại từnước, đảm bảo chất lượng và độ ổn định củanước siêu tinh khiết. Nước tinh khiết caonày là rất cần thiết trong quá trình sản xuất chất bán dẫn điện tử, được sử dụng để làm sạch các thành phần quan trọngnhư silicon và chip, loại bỏ các hạt bề mặt và chất hữu cơ một cách hiệu quả, giảm tỷ lệ khuyết tật sản phẩm và do đó cải thiện chất lượng và hiệu suất của sản phẩm.

 

Thứ hai, việc sử dụng côngnghệ màng thẩm thấungược đã làm chậm sự thay đổi chất lượngnước do biến động chất lượngnước, do đó tạo điều kiện cho sự ổn định của chất lượngnước trong sản xuất. Điềunày có tác động tích cực đến sự ổn định chất lượng của các sản phẩmnước siêu tinh khiết, giúp đảm bảo sản xuất chất lượng của các sản phẩm bán dẫn.

 

Tóm lại, việc áp dụng màng thẩm thấungược trongngành bán dẫn điện tử có thể đạt được hiệu quả sản xuất củanước siêu tinh khiết, đảm bảo tính ổn định và độ tin cậy của chất lượng sản phẩm, và giúp giảm chi phí sản xuất và ônhiễm môi trường.

 

xx

 

4. Hệ thống EDI:

Và trong sản xuất

Các hệ thống EDI hoặc hệ thống khử ion điện tử được sử dụng rộng rãi trongngành côngnghiệp bán dẫn. Nó chủ yếu được sử dụng để sản xuấtnước siêu tinh khiết.
Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn,nước siêunhiệt được sử dụng chonhiều quy trình chính, chẳng hạnnhư làm sạch các thành phần chínhnhư chip silicon và chip, cũngnhưnền tảng chuẩn bị của các chất lỏng côngnghệ khác. Hệ thống EDI có thể sử dụng côngnghệ màng trao đổi ion và côngnghệ di chuyển electron để loại bỏ các ion và các tạp chất khác khỏinước, tạo ranước siêu tinh khiết cao.

 

Cụ thể, các hệ thống EDI có thể loại bỏ các ion khỏinước, chẳng hạnnhưnatri, canxi, magiê, clorua, sulfate và anion, dẫn đến độ dẫnnước rất thấp và đáp ứng các yêu cầu chất lượngnước cao trong các quy trình sản xuất bán dẫn. Ngoài ra, do khảnăng loại bỏ ion hiệu quả củanó, các hệ thống EDI cũng có thể làm giảm tần suất tái sinh và mức tiêu thụ hóa học cần thiết trong các quá trình trao đổi ion truyền thống, giảm chi phí vận hành và tác động môi trường.


Nguyên tắc kỹ thuật

Cácnguyên tắc kỹ thuật của các hệ thống EDI chủ yếu dựa trên côngnghệ màng trao đổi ion và côngnghệ di chuyển điện tử.
Dưới ảnh hưởng của trường DC, các ion điện môi trong phân vùng của hệ thống EDI di chuyển theo hướng. Màng trao đổi ion có thể có chọn lọc qua các ion, cho phép một số ion đi qua vàngăn chặnnhữngngười khác đi qua để làm sạch chất lượngnước. Trong quá trìnhnày,nhựa trao đổi ion liên tục được tái tạo bằng điện, do đó không cần tái tạo axit và kali.

 

Cụ thể, mô -đun EDI kẹp đơn vị EDI chứa đầynhựa trao đổi ion giữa các màng trao đổi ion\/âm vào đơn vị EDI, được phân tách bằng bảng lưới để tạo thành một buồngnước vànướcngọt. Sau khi đặt cực dương\/cực âm ở cả hai đầu của phần, dòng điện trực tiếp sẽ đẩy các ion dương và âm chảy qua màng trao đổi ion tương ứng vào buồng lưu trữnước để loại bỏ các ionnày trong buồngnướcngọt. Nước trong buồngnước dày có thể lấy các ion ra khỏi hệ thống và tạo ranước dày.


Chúng ta có thể đạt được loại kết quảnào

Hệ thống EDI có thể tạo ranước siêu tinh khiết hiệu quả. Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn,nước siêu tinh thể là một yếu tố sản xuất quan trọng để làm sạch các thành phần cốt lõinhư chip silicon và chip, và cũng lànền tảng để chuẩn bị các chất lỏng côngnghệ khác. Hệ thống EDI áp dụng hiệu quả loại bỏ ion, có thể loại bỏ các ion, chất hữu cơ và tạp chất khỏinước, đảm bảo chất lượng và tính ổn định củanước siêu tinh khiết và đáp ứng các yêu cầu cao về chất lượng sản xuất bán dẫn.
Hơnnữa, hệ thống EDI được kiểm soát rất dễ mở rộng lên xuống, không yêu cầu tái tạo và cónhững lợi thếnhư chất lượngnước ổn định. Nguồn cung cấpnước củanó đáp ứng các yêu cầu của tình huống và có thể đảm bảo rằng chất lượngnước tiếp tục tạo ra tốc độ khángnước của ≥ 15m Omega.

 
Advanced oxidation integration equipment
 

5. Hệ thống đánh bóng giường:

Và trong sản xuất

Việc đánh bóng hỗn hợp giường trongngành côngnghiệp bán dẫn chủ yếu được sử dụng trong quá trình sản xuấtnước siêu tinh khiết.
Làm sạch chip: Trong quá trình sản xuất chip, một loạt các tạp chất được tạo ra sau khi hóa học\/vật lý, ăn mòn,nướng bánh và các quy trình khác. Để loại bỏ các tạp chấtnày và đảm bảo tính hiệu quả của chip, cần phải làm sạchnó bằngnước siêu tinh khiết.

 

Sản xuất vật liệu bán dẫn: Nước tinh khiết có thể loại bỏ các tạp chất trên bề mặt vật liệu bán dẫn, đảm bảo các yêu cầu độ tinh khiết của vật liệu bán dẫn và cải thiện hiệu quả hiệu suất và độ tin cậy của chip bán dẫn.

 

Trong các bước kỹ thuậtnày,nước siêu tinh khiết được sử dụng để làm sạch thiết bị và thiết bị bán dẫn, đảm bảo sự sạch sẽ của bề mặt sản phẩm và tránh tác động của các chất ônhiễm đến hiệu suất và độ tin cậy của sản phẩm. Hệ thống trộn giường đánh bóng có thể loại bỏ hiệu quả các ion và chất hữu cơ khỏinước, đảm bảo rằng chất lượngnước đáp ứng các tiêu chuẩn cao trongngành côngnghiệp bán dẫn.

 

Nguyên tắc kỹ thuật

Nguyên tắc kỹ thuật của máy trộn đánh bóng chủ yếu dựa trênnguyên tắc trao đổi ion. Loạinhựanày là một hợp chất polymer bao gồm cácnhóm trao đổi ion đặc biệt có thể biểu hiện chứcnăng trao đổi ion trongnước.

 

Trong các ứng dụng côngnghiệp bán dẫn, các giường hỗn hợp đánh bóng chủ yếu được sử dụng để chuẩn bịnước siêu tinh khiết. Khinước thô chứa các ion tạp chất đi quanhựa, cácnhóm trao đổi ion trong trao đổinhựa với các ion tạp chấtnày, hấp thụ chúng vào các ionnhựa và giải phóng vô hại trong quá trình. Thông qua phương phápnày, các ion tạp chất trongnước thô được loại bỏ một cách hiệu quả thông qua trao đổi ion củanhựa, để có đượcnước có độ tinh khiết cao.


Chúng ta có thể đạt được loại kết quảnào

Thứnhất,nó đảm bảo chất lượng củanước siêu tinh khiết. Ultra Pure Water là rất quan trọng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn điện tử. Đánh bóng hỗn hợp có thể loại bỏ hiệu quảnước ion hóa, chất hữu cơ và các tạp chất khác, đảm bảo chất lượng và độ ổn định củanước siêu tinh khiết và đáp ứng chất lượng sản xuất của chất bán dẫn điện tử chất lượng cao.

 

Đánh bóng giường hỗn hợp cũng giúp cải thiện hiệu quả sản xuất. Do hiệu quả trao đổi ion cao và hiệu suất ổn định,nó có thể làm giảm sự gián đoạn sản xuất và bảo trì thiết bị do các vấn đề về chất lượngnước, đảm bảo tính liên tục và ổn định của quy trình sản xuất.